Bei diesem Verfahren wird eine Querschnittsprobe des zu prüfenden Werkstücks entnommen, in Harz eingebettet und anschliessend geschliffen und poliert. Die Schichten oder Beschichtungen werden dann mit einem optischen Mikroskop oder einem Rasterelektronenmikroskop (REM) visuell untersucht.

Die mikroskopische Schichtdickenmessung dient zur Bestimmung der Dicke von metallischen oder nichtmetallischen Beschichtungen auf einem Grundwerkstoff. Das Verfahren wird insbesondere eingesetzt, wenn eine genaue Bestimmung der Schichtdicke erforderlich ist oder andere zerstörungsfreie Messverfahren nicht geeignet sind. Die Untersuchung kann zur Qualitätskontrolle, zur Überprüfung von Beschichtungsvorgaben sowie zur Beurteilung von Fertigungs- und Beschichtungsprozessen verwendet werden. Das mikroskopische Verfahren erfolgt gemäß DIN EN ISO 1463.

Für die Messung wird eine Querschnittsprobe aus dem zu untersuchenden Bauteil entnommen. Die Probe wird in Harz eingebettet und anschliessend sorgfältig geschliffen und poliert, sodass der Querschnitt der Beschichtung sichtbar wird. Danach wird die vorbereitete Oberfläche mit einem optischen Mikroskop oder einem Rasterelektronenmikroskop (REM) untersucht. Die Schichtdicke wird anhand des sichtbaren Querschnitts der Beschichtung bestimmt. Bei mehreren übereinanderliegenden Schichten können die einzelnen Schichtdicken separat ermittelt werden. Da eine Probe aus dem Bauteil entnommen und präpariert werden muss, handelt es sich beim klassischen mikroskopischen Verfahren um ein zerstörendes Prüfverfahren.

Als Nachweis dienen insbesondere Prüfprotokolle, Messwerte und mikroskopische Aufnahmen des untersuchten Querschnitts. Im Prüfbericht werden unter anderem das untersuchte Bauteil, der Werkstoff, die Beschichtung, die Messstelle und die ermittelte Schichtdicke dokumentiert. Die Ergebnisse können mit den geforderten Schichtdicken aus technischen Zeichnungen, Spezifikationen, Normen oder Kundenanforderungen verglichen werden. Die mikroskopischen Aufnahmen können zusätzlich als dokumentierter Nachweis der gemessenen Schichtdicke verwendet werden.
Das Verfahren eignet sich für beschichtete metallische Werkstoffe und Bauteile mit unterschiedlichen Beschichtungssystemen. Typische Grundwerkstoffe sind:
Je nach Anwendung können beispielsweise galvanische, chemische oder thermische Beschichtungen untersucht werden.
Die Schichtdickenmessung kann an verschiedenen beschichteten Bauteilgruppen eingesetzt werden. Typische Beispiele sind:
Die Auswahl der Messstelle erfolgt abhängig von der Prüfaufgabe und den Anforderungen an die Beschichtung.
DIN EN ISO 1463